Tulaga lelei o le fa'aoso fa'amaneta ma planar maneta

Faufautua fa'atekinisi a le RSM o le a fa'asoa atu ia te oe le lelei o le fa'aogaina o sini fa'atosina maneta?Pe a faatusatusa i isi sini magnetron sputtering, cylindrical ma planar magnetron sputtering sini tumau le lelei o le lelei coating uniformity o rectangular planar sini, ma e mafai ona faateleina le faaaogaina o sini e ala i auala nei e lua:

(1) Pe a oʻo atu vaega e lua (fa) o lua i luga o le pito i luga o le sini i se loloto patino, o le autu autu (vaega maneta) e mafai ona fesuiaʻi 45 ° e faʻatatau i le faʻamau faʻapipiʻi, ina ia mafai ai e isi vaega i luga o le faʻamaʻi sini. e le'i pala e mafai ona fa'aoga;

(2) Pe a fuafuaina le autu autu o le cylindrical ma planar magnetron sputtering taulaiga e pei o se taamilosaga autu autu (o le autu autu o loo feliuliuaʻi i le taimi o sputtering), o le pito i luga o le taulaiga e mafai ona sputtered tutusa i luga o le laulau e aunoa ma lua.I le taimi nei, o le sini o le a faʻaaogaina sili ona lelei, ma o le faʻaogaina o le fua faatatau e mafai ona oʻo atu i le 50% ~ 60% Aʻo le mea faʻatatau o le uʻamea taua, e manino lava le taua tele.

I le faʻaaogaina o le mataupu faavae o le maneta ma seevae pou i le coaxial cylindrical magnetron sputtering sini e foia ai le faafitauli o le iuga o le fanua maneta, e mafai ona liua le taulaiga vaalele rectangular i se cylindrical ma planar magnetron sputtering sini, O le sini e mafai ona sili atu le fua faatatau faaaogaina o le sini. a'o tausia le tutusa lelei o le ufiufi o le fa'atatau o le va'alele rectangular Ina ia fa'aleleia atili ai fa'amanuiaga tau tamaoaiga.