I le taimi nei, toetoe lava o sini maualuga maualuga maualuga-maualuga uʻamea apamemea e manaʻomia e le IC alamanuia o loʻo pulea e le tele o kamupani tetele mai fafo.O sini uma apamemea ultrapure e manaʻomia e le pisinisi IC i totonu o le atunuʻu e manaʻomia ona faʻaulufale mai, e le gata e taugata, ae faʻalavelave foi i faiga faʻaulufale mai O le mea lea, e manaʻomia vave e Saina le faʻaleleia o le atinaʻeina ma le faʻamaonia o le maualuga o le mama (6N) kopa sputtering sini. .Se'i o tatou va'ava'ai i itu taua ma fa'afitauli i le atina'eina o sini fa'ama'a ma'a maualuga (6N) apamemea.
1、Atina'e o mea e sili ona mama atoatoa
O tekinolosi faʻamamāina o le maualuga o le mama Cu, Al ma Ta metals i Saina e mamao ese mai i totonu o atunuʻu atinaʻe.I le taimi nei, o le tele o uʻamea maualuga-mama e mafai ona tuʻuina atu e le mafai ona faʻamalieina manaʻoga lelei o taʻaloga tuʻufaʻatasia mo le faʻapipiʻiina o sini e tusa ai ma auala masani o auʻiliʻiliga elemene uma i totonu o le alamanuia.Ole numera o fa'aaofia i totonu ole fa'amoemoe e maualuga tele pe le fa'asoasoaina.E masani ona fausia ni vaega i luga o le wafer i le taimi o le sputtering, e mafua ai le taʻavale puʻupuʻu poʻo le vaeluaga o fesoʻotaʻiga, lea e matua afaina ai le faatinoga o le ata.
2、Atina'e o le kopa sputtering fa'atatau i tekinolosi sauniuni
O le atinaʻeina o le kopa sputtering faʻatonuga tekonolosi e masani lava ona taulaʻi i ni vaega se tolu: saito tele, faʻatonuga faʻatonu ma le tutusa.Ole alamanuia semiconductor o lo'o i ai tulaga sili ona maualuga mo le fa'aosoina o sini ma fa'amama mea mata.O loʻo i ai manaʻoga faʻapitoa mo le puleaina o le maualuga o le fatu ma le faʻataʻitaʻiga tioata o le sini.Ole tele ole saito ole fa'amoemoe e tatau ona pulea ile 100μ M o loʻo i lalo, o le mea lea, o le faʻatonutonuina o le tele o saito ma auala o suʻesuʻega faʻatasi ma suʻesuʻega e taua tele mo le atinaʻeina o sini uʻamea.
3、Atinae o au'ili'iliga masu'ega tekinolosi
O le maualuga o le mama o le sini o lona uiga o le faʻaitiitia o mea leaga.I le taimi ua tuanaʻi, na faʻaogaina ai le plasma inductively coupled (ICP) ma le atomic absorption spectrometry e fuafua ai mea leaga, ae i tausaga talu ai nei, o le suʻesuʻeina o le lelei o le glow discharge quality (GDMS) ma le maualuga maualuga na faʻaaogaina e avea ma tulaga masani. auala.Ole fua fa'atatau ole fa'aletonu ole RRR e masani ona fa'aaogaina mo le fa'amautuina ole mama eletise.O lona faʻamoemoega faʻavae o le iloilo lea o le mama o le uʻamea faavae e ala i le fuaina o le tikeri o le faʻasalalau eletise o mea leaga.Ona o le fuaina o le tetee i le vevela o le potu ma le maualalo o le vevela, e faigofie lava ona ave le numera.I tausaga talu ai nei, ina ia mafai ona suʻesuʻeina le uiga o metala, o le suʻesuʻega i luga o le mama maualuga e matua malosi lava.I lenei tulaga, o le tau o le RRR o le auala sili lea e iloilo ai le mama.
Taimi meli: Me-06-2022