E pei ona tatou iloa uma, o le vacuum evaporation ma le ion sputtering e masani ona faʻaaogaina i le vacuum coating.O le a le 'ese'esega i le va o le fa'a'aisa o le ufiufi ma le fa'afefete?O le isi, o tagata tomai faʻapitoa mai le RSM o le a faʻasoa mai ia i matou.
Vacuum evaporation coating o le faʻamafanafanaina lea o mea e faʻafefe i se vevela faapitoa e ala i le faʻamafanafanaina o le vevela poʻo le eletise eletise ma le pomu leisa i totonu o se siosiomaga ma se tikeri gaogao e le itiiti ifo i le 10-2Pa, ina ia mafai ai e le vevela vevela malosi o molelaʻau poʻo. atoms i le meafaitino e sili atu le malosi nonoa o luga, ina ia evaporate se numera tele o molelaula po o atoms evaporate pe sublimate, ma tuusao precipitate i luga o le substrate e fausia ai se ata tifaga.Ion sputtering coating e faʻaaogaina ai le televave o gaioiga o ion lelei e faʻatupuina e ala i le faʻaaogaina o le kesi i lalo o le gaioiga o le eletise eletise e osofaʻia ai le sini e pei o le cathode, ina ia mafai ai e atoms poʻo molelaʻau i totonu o le sini ona sola ese ma faʻafefe i luga o le mea faigaluega faʻapipiʻi e fausia. le ata e mana'omia.
O le auala sili ona masani ona faʻaaogaina o le faʻafefe o le faʻamalo o le faʻafefeteina o le faʻamafanafanaina, o loʻo i ai le lelei o le fausaga faigofie, tau maualalo ma le faʻaogaina faigofie;O le fa'aletonu e le talafeagai mo u'amea refractory ma le vevela maualuga mea dielectric.Electron beam fa'avevela ma leisaisa fa'avevela e mafai ona fa'ato'ilaloina fa'aletonu ole fa'avevela fa'asao.I le faʻavevela afi eletise, o le faʻaogaina o le eletise eletise e faʻaaogaina e faʻavevela saʻo ai le mea na osofaʻia, ma le malosi o le kinetic o le eletise eletise e avea ma malosiaga vevela, lea e faʻafefe ai mea.O le fa'avevelaina o le laser e fa'aaogaina ai le laser maualuga-mamana e fai ma fa'avevela, ae ona o le tau maualuga o le laser maualuga, e mafai ona fa'aaogaina i nai fale su'esu'e i le taimi nei.
Sputtering tekinolosi e ese mai le masini evaporation tekinolosi.O le “sputtering” e faasino i le mea mataʻina e osofaʻia ai e ni vaega ninii le tino (taulaʻiga) ma faia ai atomu malo po o molelaʻau e fana mai i luga.O le tele o vaega emitted o lo'o i totonu o le tulaga atomika, lea e masani ona ta'ua o atoms sputtered.O mea'ai ua fa'aaogaina e tu'i ai le fa'amoemoe e mafai ona fa'aeletonika, ion po'o ni mea e le tutusa.Talu ai ona o ions e faigofie ona faʻavave i lalo o le eletise eletise e maua ai le manaʻomia o le malosi o le kinetic, o le toʻatele oi latou e faʻaaogaina ion e pei o ni vaega pomu.O le fa'agasologa o le Sputtering e fa'avae i luga o le susulu o le susulu, o lona uiga, o ion sputtering e sau mai le kesi.'ese'ese fa'atekonolosi sputtering fa'aaogaina auala fa'avevela ese'ese.DC diode sputtering fa'aaogaina le fa'amalo DC;Triode sputtering o se susulu malamalama e lagolagoina e cathode vevela;RF sputtering fa'aaogaina RF glow discharge;Magnetron sputtering o se fa'ase'e susulu e pulea e se maneta fa'anumera.
Fa'atusatusa i le vacuum evaporation coating, sputtering coating e tele mea lelei.Mo se faʻataʻitaʻiga, soʻo se mea e mafai ona faʻafefe, aemaise lava elemene ma mea faʻapipiʻi e maualuga le liusuavai ma maualalo le mamafa o le ausa;O le pipii i le va o sputtered ata tifaga ma substrate lelei;maualuga ata tifaga;E mafai ona pulea le mafiafia o le ata ma e lelei le toe faʻaleleia.O le mea le lelei o le meafaigaluega e faigata ma e manaʻomia ai masini eletise maualuga.
E le gata i lea, o le tuʻufaʻatasiga o auala evaporation ma sputtering auala o le ion plating.O le lelei o lenei metotia o le ata maua mai e malosi le pipii ma le substrate, maualuga le faʻapipiʻiina ma maualuga ata tifaga.
Taimi meli: Iul-20-2022