E tatau ona tatou masani lelei i le faʻamoemoe i le taimi nei, o lea ua faʻateleina foi le maketi taulaʻi, o le mea lea o le a le faʻatinoga autu o le sputtering target faʻasoa e le faatonu mai le RSM
O le mama
O le mama o mea faʻatatau o se tasi lea o faʻasologa autu o faʻatinoga, aua o le mama o mea faʻatatau e iai se aafiaga tele i le faʻatinoga o ata manifinifi.Ae ui i lea, i le faʻatinoga faʻatinoga, o manaoga mama o mea faʻatatau e le tutusa.Mo se faʻataʻitaʻiga, faʻatasi ai ma le televave o le atinaʻeina o pisinisi microelectronics, o le tele o le kesi kaila ua atiaʻe mai le 6 ", 8" i le 12 ", ma o le lautele o le uaea ua faʻaititia mai le 0.5um i le 0.25um, 0.18um poʻo le 0.13um.I le taimi muamua, o le mama o 99.995% mea faʻatatau e mafai ona faʻamalieina le faagasologa o manaʻoga o le 0.35umIC.O le mama o mea faʻatatau o le 99.999% poʻo le 99.9999% mo le saunia o laina 0.18um.
mea le mama
O mea le mama i totonu o le faʻamoemoega malo ma le okesene ma le vai vai i totonu o pores o le faʻaleagaina autu lea o le faʻaputuina o ata.O mea fa'atatau mo fa'amoemoega 'ese'ese e 'ese'ese mea e mana'omia mo 'ese'ese mea le mama.Mo se faʻataʻitaʻiga, alumini mama ma alumini faʻapipiʻi faʻaogaina i totonu o pisinisi semiconductor e iai manaʻoga faʻapitoa mo mea o loʻo i totonu o metals alkali ma elemene leitio.
O le mafiafia
Ina ia faʻaitiitia le porosity i le faʻamoemoega mausali ma faʻaleleia le faʻatinoga o le ata tifaga, e masani ona manaʻomia le maualuga maualuga o le faʻamoemoe.O le mamafa o le taula'iga e a'afia ai e le gata i le sputtering rate ae fa'apea fo'i le eletise ma mea fa'apitoa o le ata.O le maualuga o le maualuga o le taulaiga, o le sili atu lea o le faatinoga o ata.E le gata i lea, o le faʻateleina o le mamafa ma le malosi o le taulaʻiga e sili atu ai le faʻasagaga o le faʻalavelave faʻafefe i le faagasologa o le sputtering.O le to'a ose tasi lea o fa'ailoga autu o fa'atinoga o fa'amoemoega.
Le tele o fatu ma le tufatufaina o saito
O le fa'amoemoe e masani lava o le polycrystalline ma le tele o saito e amata mai le micrometer i le millimita.Mo le faʻamoemoe lava e tasi, o le fua o le sputtering o le faʻatatau i fatu laiti e sili atu le vave nai lo le faʻamoemoeina ma fatu tetele.O le mafiafia o le tufatufaina o ata na teuina e ala i le sputtering target ma laʻititi le eseesega o fatu (tufatufaina tutusa) e sili atu le tutusa.
Taimi meli: Au-04-2022