Mana'oga fa'atinoga mo mea fa'atatau ile fale teu oloa

O mea faʻatatau o loʻo faʻaaogaina i totonu o faʻamaumauga e teu ai faʻamatalaga e manaʻomia ai le mama maualuga, ma o mea leaga ma pores e tatau ona faʻaitiitia e aloese ai mai le faʻatupuina o vaega eleelea i le taimi o le sputtering.O mea fa'atatau o lo'o fa'aaogaina mo oloa maualuga e mana'omia ai le la'ititi ma le tutusa o lona lapoa tioata, ma e leai se fa'asologa tioata.Lalo, se'i o tatou va'ava'ai i mana'oga o le alamanuia fa'apipi'i mo mea fa'atatau?

1. Mama

I fa'atinoga fa'atino, o le mama o mea fa'atatau e eseese e tusa ai ma pisinisi eseese ma mana'oga.Ae ui i lea, o le aotelega, o le maualuga o le mama o mea faʻatatau, o le sili atu lea o le faʻatinoina o le ata tifaga sputtered.Mo se faʻataʻitaʻiga, i totonu o le fale teu oloa, o le mama o mea faʻatatau e manaʻomia e sili atu nai lo le 3N5 poʻo le 4N.

2. mea le mama

O le mea autu e avea ma puna cathode i sputtering, ma le le mama i le malo ma le okesene ma vai ausa i pores o le autu filogia puna mo le teuina o ata manifinifi.E le gata i lea, e iai manaʻoga faʻapitoa mo faʻamoemoega o faʻaoga eseese.O le avea o se fa'ata'ita'iga o le fa'aogaina o mea fa'apitoa, o mea e le mama i totonu o fa'amoemoega e tatau ona fa'atonutonu maualalo ina ia mautinoa le lelei o le fa'alavalava.

3. Le tele o saito ma le tufaina o le tele

E masani lava, o le mea fa'atatau e iai se fausaga polycrystalline, fa'atasi ai ma le tele o saito e amata mai i micrometers i millimeters.Mo sini e tutusa le tu'ufa'atasiga, o le saosaoa o saito lelei e sili atu le vave nai lo le saito mata'utia.Mo taula'iga e la'ititi la'ititi le lapopo'a o saito, o le mafiafia o ata na teuina o le a sili atu fo'i le tutusa.

4. Fa'atasi

Ina ia faʻaitiitia le porosity i mea mautu faʻatatau ma faʻaleleia le faʻatinoga o ata, e masani ona manaʻomia le maualuga o le maualuga o le mea e faʻaogaina ai le sputtering.Ole tele ole mea e fa'atatau ile mea e fa'atatau ile tapenaga.O mea faʻatatau e gaosia e ala i le faʻafefeteina ma le tuʻuina o auala e mafai ona faʻamautinoa e leai ni pores i totonu ole mea faʻatatau ma e maualuga tele le mamafa.