Sputtered mea fa'atatau e iai mana'oga maualuga i le taimi o le fa'aoga, e le gata mo le mama ma le lapopo'a, ae fa'apea fo'i mo le lapo'a tutusa.O nei mana'oga maualuga tatou te fa'alogo atili ai pe a fa'aogaina mea fa'atatau ile sputtering.
1. Sauniuniga o le Sputtering
E taua tele le tausia o le mama o le potu vacuum, aemaise lava le sputtering system.Lubricants, pefu, ma soʻo se mea o totoe mai faʻapipiʻi muamua e mafai ona faʻaputuina mea filogia e pei o le vai, e aʻafia saʻo ai le gaogao ma faʻateleina ai le faʻaletonu o le faʻavaeina o ata.O ta'amilosaga pupuu, fa'amanu fa'amau, mea talatala e fai ata tifaga, ma le tele o vaila'au fa'ama'i e masani lava ona mafua mai i potu ta'ele le mama, fana, ma fa'amau.
Ina ia faʻatumauina uiga tuʻufaʻatasia o le ufiufi, o le kesi faʻafefe (argon poʻo le okesene) e tatau ona mama ma mago.A maeʻa ona faʻapipiʻi le substrate i totonu o le potu sputtering, e manaʻomia ona aveese le ea e ausia ai le maualuga o le gaogao manaʻomia mo le faagasologa.
2. Fa'amama fa'amoemoe
O le fa'amoemoega ole fa'amamāina o le fa'amamāina lea o so'o se pefu po'o palapala e ono iai ile pito i luga ole fa'atatau.
3. Fa'apipi'i sini
O le mea pito sili ona taua e faʻalogo i ai i le taimi o le faʻapipiʻiina o mea faʻapipiʻi o le faʻamautinoaina o se fesoʻotaʻiga mafanafana lelei i le va o mea faʻapipiʻi ma le puipui malulu o le fana sputtering.Afai o le puipui malulu po'o le ipu pito i tua ua matua fa'afefeteina, e ono mafua ai ona ta'e pe punou i le taimi o le fa'apipi'iina o mea fa'atatau.O le faʻafefe o le vevela mai le pito i tua i le mea faʻatatau o le a matua aʻafia ai, e mafua ai le le mafai ona faʻaumatia le vevela i le taimi o le sputtering, ma iu ai ina taʻe poʻo le vavaeeseina o mea faʻatatau.
4. Su'ega ta'avale pupuu ma fa'amaufa'ailoga
A maeʻa le faʻapipiʻiina o mea faʻatatau, e manaʻomia le siakiina o le puʻupuʻu ma le faʻamaufaʻailogaina o le cathode atoa.E fautuaina e fa'aoga le ohmmeter ma le megohmmeter e iloa ai pe pu'upu'u le cathode.A maeʻa ona faʻamaonia e le o puʻupuʻu le cathode, e mafai ona faia se suʻesuʻega leak e ala i le tuiina o le vai i totonu o le cathode e iloa ai pe i ai se leka.
5. Mea fa'atatau a'o le'i fa'aoso
E fautuaina le fa'aogaina o le kasa argon mama mo le mua'i sputtering o mea fa'atatau, lea e mafai ona fa'amama le pito i luga ole mea fa'atatau.E fautuaina le fa'agesegese ona fa'atupuina le malosi o le sputtering i le taimi o le fa'agasologa muamua o le sputtering mo mea fa'atatau.Le malosi o le mea fa'atatau sima
Taimi meli: Oke-19-2023