O le sini e tele ana galuega tauave ma lautele faʻaoga i le tele o matata.O meafaigaluega fou sputtering toetoe lava faʻaaogaina maneta mamana e faʻasolo ai le electrons e faʻavave ai le ionization o argon faataamilo i le sini, lea e faʻateleina ai le avanoa o le fetoʻai i le va o le sini ma argon ions,
Fa'ateleina le fua o le sputtering.E masani lava, DC sputtering e faʻaaogaina mo le ufiufi uʻamea, aʻo faʻaogaina fesoʻotaʻiga RF e faʻaaogaina mo mea e le faʻaogaina le maneta.O le mataupu faavae o le faʻaaogaina o le susulu e taia ai argon (AR) ions i luga o le pito i luga o le taulaiga i le vacuum, ma o le cation i le plasma o le a faʻavavevave i luga o le eletise eletise le lelei e pei o le mea faʻafefe.O lenei a'afiaga o le a fa'afefe ai mea o le sini ma fa'aputu i luga o le mea'ai e fai ai se ata.
I se tulaga lautele, o loʻo i ai le tele o vaega o le faʻapipiʻiina o ata tifaga e faʻaaoga ai le sputtering process:
(1) O u'amea, u'amea po'o le insulator e mafai ona faia i fa'amatalaga ata tifaga manifinifi.
(2) I lalo o tulaga fa'atulagaina talafeagai, o le ata e tutusa le fatuga e mafai ona faia mai le tele ma fa'aletonu sini.
(3) O le fa'afefiloi po'o le tu'ufa'atasiga o mea fa'atatau ma mole mole kesi e mafai ona faia e ala i le fa'aopoopoina o le okesene po'o isi kasa malosi i totonu o le atemosifia lafoa'i.
(4) E mafai ona pulea le faʻaogaina o le taimi nei ma le sputtering taimi, ma e faigofie ona maua le mafiafia o ata tifaga maualuga.
(5) E aogā i le gaosiga o isi ata.
(6) E tau le a'afia i le kalave o mea'ai mapuna, ma e mafai ona fa'atulaga sa'oloto le taula'iga ma mea fa'apipi'i.
Taimi meli: Me-24-2022